CMOS測試和校準

傳感器和成像儀校準

標定CMOS，通常將待測物放于積分球的出口，并且需要屏蔽積分球內燈的直接照射。積分球開口端光源是通過多次漫反射間接提供的，從而使其有效區暴露在一個均勻輻照度下。

積分球出口處的照度是經校準的，在測試過程中，連接在積分球上的監測探測器通過輻射計給出照度讀數。評估設備對已知均勻照度的響應，以驗證是否符合規范，或識別和糾正工藝問題。

在這種方法中可以使用不同類型的光源。積分球可以用調節的白熾燈照明，或者光源可以設計成模擬特定的光譜分布，例如平均日光。積分球也可與單色儀耦合，用于光譜表征。

Labsphere的均勻光源積分球和積分球均勻光源系統可測試用于光伏或光導應用的半導體晶圓和器件的響應性和/或量子效率。